新冠肺炎疫情当前，红外温度传感器作为红外体温计的核心器件，需求巨大。为此，上海微技术工业研究院(简称“工研院”)传感器团队在春节期间紧急复工。

2月2日，嘉定工厂正式复工。2月11日，第一批红外温度传感器产品正式出厂。120多步的工序，在往常，要一个月才能交货；而现在，员工加班加点，24小时运作。第一批9万颗芯片以99.74%的良率提前三天送到了客户手中，投放到抗疫最前线。

“目前，8寸线的产能是6万颗/天，预计到2月底，能完成近240万颗芯片。3月份，全面复工后，预计产能可达13万颗/天，这将为国内红外体温计生产企业提供充足的传感器产品。”工研院总经理丁辉文信心十足。

研发，不止步。工研院正在着手研发快速核酸检测系统和精准雾化设备，预计5月产品将正式问世。

精确到头发丝的百分之一

温度传感器芯片结构精细、设计严格。整套工序需要120多个步骤、38台主力设备，任何一个步骤或设备出问题，都会导致整个制作流程失败或停滞。精度，更是要精准到头发丝的百分之一以上，因此，整个生产过程对洁净度的要求极其苛刻。一个亚微米大小的颗粒就会毁掉一个芯片；薄膜生长时哪怕出现几纳米的厚度偏差，就会导致数十万颗芯片的报废。

在一般的半导体生产厂，一个设备工程师只掌握一种设备。但是，8寸线的设备团队“传帮带”，每个设备工程师都能熟练维修、操作多种设备。整个团队密切配合，在人员有限的情况下昼夜兼程，及时地排除了一次又一次的故障，保障了整个生产线的稳定和通畅。在生产过程中，高温炉管工艺是薄膜生长的关键。就职一年刚出头的应届大学毕业生秦雷在师傅无法到厂的情况下，勇担重任，在师傅的远程指导下，负责起了全部高温炉管的维修和保养，多次成功地解决了设备的异常情况。

安装在红外测温仪中的温度传感器

研发还在继续深入。丁辉文介绍，目前工研院正在着手两个防疫科研攻关项目：一个是快速高精度核酸检测系统，能在5分钟左右就检验出是否带有新冠病毒，比现在的30分钟检测提速83%。另一个，是高精度的雾化器。一般来说，雾化颗粒物直径太大的话，药物在喉咙口就卡住了；颗粒物直径过小的话，又直接到达胃部，肺部给药偏少。这一雾化器将保证颗粒度的直径大小在5微米左右，可以将药物颗粒准确送到肺部。目前，这个产品将填补国内相关领域的技术空白，按照目前的研发进度，在5月份将有产品问世。

员工当“司机”接送同事

8寸线抢制温度传感器芯片的战役，2月1日就正式打响。而这场战役的排头兵，就是工研院的设备工程师队伍——在沪人员即刻到位，外地人员也尽快返沪开始必要的隔离争取能够尽早复工；无法到岗的员工，就通过视频、电话、微信全力支持现场操作。

产线开通，防疫是重中之重。防疫的标准“严苛”到让每一个员工都是“点到点”工作，即从“家到工厂”两点一线，确保“零接触”新冠病毒。

“每一位必须到厂上班的员工，不能坐公共交通，只能通过私家车到岗。”丁辉文介绍，没有私家车的员工，就由其他“零接触新冠病毒”的同事当“司机”，用自己的私家车接送同事上下班。有的员工为避免交叉感染，每天骑自行车上下班；还有的员工家住奉贤，从年初五开始每天赶到嘉定工厂上班，一直工作至今。

上下游携手，联合抗疫。产业链上准备好了，工研院立即向上级部门报备，24小时之内，复工的批文就转到区、街道、工业园区。晶片制造，还需要封装的支持，上海市经信委、市科委紧急协调了上海两家封装公司，又通过工信部协调了重庆、厦门等地的封装厂紧急复工。

工程师“上阵”当操作工

生产管控工程师、设备工程师、工艺开发工程师、厂务工安工程师……原先这些不上生产线的员工，自告奋勇上生产线操作，第一时间解决了一线操作人员不足的问题。

“原先，加上外包员工近百人的工厂，目前只有二三十人出勤。”负责芯片生产的工研院8寸线厂长助理张成明告诉记者。2月2日开始复工时，绝大部分一线操作人员都无法返沪，仅有在沪的两位员工可以到岗生产。这时，从未操作过机台的生产管控工程师李金英和马仁月，自告奋勇，用已经习惯了键盘的手，开始对着视频操作，摸索着进行作业，仅用了七天的时间，她们就掌握了车间80%的机台操作。

目前，8寸线的产能是6万颗/天，预计到2月底，能完成接近240万颗芯片。丁辉文表示，3月份，工厂设备将进一步加快调试，员工逐渐回来上班，同步将产能调到最大值，预计3月产能可达到400万颗芯片。现在，加上后续的封装测试步骤，芯片已经源源不断地“交付”到客户手上。到4月中旬前，总交货可达500万颗。